High-Purity Gas Supply Engineering
High Purity Gas Piping & Semiconductor Equipment Engineering
Ultra-low temperature, Ultra-high Vacuum Engineering
Energy Supply Engineering
アプリケーションテクノロジー
Ohter EngineeringCMPスラリー調合供給システム
米国、Megafluid社との技術提携による基本技術を基に、開発・設計・製造を当社で実施し、国内顧客のニーズに最適なシステムを提供します。
独自の調合送液システムによりスラリー粒子凝集レス供給を実現
Magniflo™ ポンプ（磁気浮揚遠心ポンプ）、コニカル形状タンク、独自のタンク内加湿システム、自動洗浄機能、攪拌機を使わないタンク内攪拌システム（Cu-jet™）
３６５日、２４時間安定稼動
調合・供給タンクユニット、供給ポンプ及びグローバルループの２重化構成の採用。
１システムでの２種スラリー連続調合供給に対応したシステム
スラリー種の変更を量産現場でスムーズに行う為に、２種類のスラリーを連続的に供給できるシステムもラインアップ。
各種CMPアプリケーションに対応した製品ラインナップ
・大規模集中供給システム；最大２０テーブルに対応
・中規模供給システム；４～８テーブル
・小規模供給システム；１～２テーブル
・中規模供給システム；４～８テーブル
・小規模供給システム；１～２テーブル
・界面活性剤加圧圧送システム
・２種スラリー連続供給システム
・フルリダンダントシステム
・２種スラリー連続供給システム
・フルリダンダントシステム