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高純度ガス供給
V1X:小型窒素ガス発生装置
V1:窒素ガス発生装置
V2:酸素ガス発生装置/V3:酸素ガス・窒素ガス併産型発生装置
VSU:高効率空気分離装置
VP:酸素発生装置
VH:水素発生装置
高純度配管・半導体設備
高純度ガス精製装置
VSS-GC:シリンダーキャビネット
VSS-VMB:バルブマニホールドボックス
DOクランプ
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VCE:高真空エピタキシャル成長装置
超低温・高真空
CE:低温液化ガス貯槽
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窒素式脱酸素装置
アベーター:医療用滅菌ガス排出処理装置
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営業 牧野有記
設計 山中隆司
施工 中井保
品質管理室 定 剛史
産業装置部 武 晋司
九州事業所 兼田 裕平
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