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⇒ 高純度配管・半導体設備エンジニアリング
事業紹介
産業ガスのソリューション。ガステクノロジーによるプロデュース。私たちと共に創る未来への架け橋。
液晶・太陽電池・半導体での産業分野は高純度ガスと共に歩んできました。高純度ガスの供給は当社の配管技術や溶接技術が活かされ、厳しい品質管理のもと製作施工しています。この技術はバルクガス並びに特殊ガス供給配管から精製装置・シリンダーキャビネット・除害装置・ガス警報システム、ガス分析システムの製作に繋がっており、安定かつ安全なガス供給システムを提供しています。
高純度ガス精製装置
VSS-GC:シリンダーキャビネット
VSS-VMB:バルブマニホールドボックス
DOクランプ
MIXマスター
VCE:高真空エピタキシャル成長装置
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