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ノンタービン方式を用いた高純度窒素ガス発生装置です。ノンフロン化の実現に対応しており、一つの外槽内に精留塔･コンデン

サー･熱交換器･CEまでを組み込み、動力室が一体となったユニットによるコンパクト設計になっています。